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マスフローコントローラ/メータ

品名			型式	日本語	英語
コリオリ式	微少流量(液体・気体)		QUANTIM シリーズ	DL (1,042KB)	DL (881KB)
サーマル式	汎用 (一般工業向け)	標準タイプ	Eシリーズ5850E	DL (620KB)	DL (194KB)
			Eシリーズ5851E	DL (620KB)	DL (176KB)
			Eシリーズ5853E	DL (693KB)	DL (218KB)
			Eシリーズ5860E	DL (657KB)	DL (169KB)
			Eシリーズ5861E	DL (657KB)	DL (173KB)
			Eシリーズ5863E	DL (693KB)	DL (218KB)
		DeviceNet タイプ	SLA5850/51/53シリーズ	-	DL (1,852KB)
		Profibus タイプ	Sシリーズ5850S/51S/53S	-	DL (4,018KB)
			Sシリーズ5860S/61S/63S	-	DL (4018KB)
	メタルシール (半導体向け)	標準タイプ	EMシリーズ5850EM	DL (603KB)	DL (334KB)
			EMシリーズ5851EM	DL (603KB)	DL (227KB)
		高機能タイプ	5964シリーズ5964	DL (526KB)	DL (453KB)
			5964シリーズ5965	DL (526KB)	DL (202KB)
		DeviceNet タイプ	SLA6850/51シリーズ	-	DL (874KB)
			SLA6950/51シリーズ	-	DL (1,047KB)
			SLA7950シリーズ	-	DL (965KB)
	電流制御 (プラント・計装向け)		iシリーズ5850i	DL (621KB)	DL (204KB)
			iシリーズ5851i	DL (621KB)	DL (186KB)
			iシリーズ5853i	DL (687KB)	DL (241KB)
			iシリーズ5860i	DL (657KB)	DL (179KB)
			iシリーズ5861i	DL (657KB)	DL (182KB)
			iシリーズ5863i	DL (687KB)	DL (241KB)
	防水・防塵・耐候型	アナログ	Mfi/Mfxシリーズ Mf50i / Mf51i / Mf53i / Mf60i / Mf61i / Mf63i	-	DL (266KB)
		デジタル	Mfsシリーズ Mf50S / Mf51S / Mf53i / Mf60S / Mf61S / Mf63S / Mf64S	-	DL (4,322KB)
MEMS センサ式	高速応答・小型		4800シリーズ	-	DL (454KB)

品名		型式	日本語	英語
オートプレッシャコントローラ/メータ	標準タイプ	5866Eシリーズ	DL (424KB)	DL (416KB)

品名		型式	日本語	英語
制御バルブ	流量調整ニードルバルブ	NSR精密ニードルバルブ 8500シリーズ	DL (177KB)	DL (223KB)

品名		型式	日本語	英語
レベル計	マグネティックレベルゲージ	810シリーズ	-	DL (1,762KB)