MEMSセンサ式マスフローコントローラ/メーター

MEMSセンサ式マスフローコントローラ/メータとは

MEMSとはMicro Electro Mechanical Systemの略称です。

MEMSセンサ式マスフローとはマイクロマシン技術を応用したサーマル式センサを搭載したマスフローです。測定原理は、薄膜シリコン基板上に従来のサーマル式センサ同様、上流側感温センサ・下流側感温センサ・中央にヒータを設け、流体の移動にともなう温度変化を検出します。従来式のサーマルセンサと比較するとガスが直接センサを通ることにより、極めて高速な応答性、小型化、低消費電力を実現しています。

従来のサーマルセンサをベースに新開発されたBrooks MEMS(Micro Electro Mechanical System) センサは、極めて高速な応答性を実現します。

高速応答・小型 4800シリーズ

Brooksのマスフローメータ・コントローラ4800シリーズは不活性ガス：Air、N2、O２、Ar、He、H2、CO2、CO、N2O、CH4、 C3H6及びC3H8の、測定・制御に最適なガス流量計です。広い流量レンジ、高速応答、そしてコンパクトなサイズなどの特長から多様なアプリケーションに適用なガス流量計です。