MEMSセンサ式マスフローコントローラ/メータ
高速応答・小型
4800シリーズ
Brooksのマスフローメータ・コントローラ4800シリーズは不活性ガス：Air、N2、O２、Ar、He、H2、CO2、CO、N2O、CH4、 C3H6及びC3H8の、測定・制御に最適なガス流量計です。広い流量レンジ、高速応答、そしてコンパクトなサイズなどの特長から多様なアプリケーションに適用なガス流量計です。
特徴
4800シリーズはMEMSセンサ搭載で、高速応答なガス流量計です。
4800シリーズはサーマルセンサをベースに新開発された、MEMS(Micro Electro Mechanical System)センサを搭載しています。このセンサは従来のサーマルセンサ同様、温度変化の検出により流量を測定します。ガスが直接センサを通ることにより、極めて高速な応答性を実現可能なガス流量計です。
4850コントローラの高速セトリングタイムは標準化へ
4850MFCは最適化された専用のPIDアルゴリズムを搭載し、コントロールバルブへの応答を簡易化しセトリングタイムを短縮しています。よって運転中 セットポイントを任意に変更した場合でも、4850は実流量を高速に追従させます。
スモールパッケージであることのメリット
4800シリーズはMEMSセンサを搭載することにより、通常のサーマルマスフローと比べて劇的なダウンサイジングを実現しました。実際4800シリーズ は、従来からのサーマルマスフローコントローラよりコンパクトなので、省スペース化が実現可能なガス流量計です。
主な用途
4800シリーズは装置の標準機器として理想的なガス流量計です。
4800シリーズは広い流量レンジ、高速応答、コンパクトなサイズによって、ガス流量の測定・制御を必要とする装置搭載に最適です。さらに、4800シリーズはモジュール化された構造により、短納期でお客様に供給することが可能です。
- 一般工業 不活性ガス供給設備
- 医薬関連・医療機器
- バイオ関連
- 太陽電池関連
仕様
4800シリーズ |
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| 流量 | 50 mL/min[s] ～ 40 L/min[s] |
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| 精度 | ±1% F.S. or ±3% F.S. |
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| 繰返し性 | ±0.15% |
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| 測定・制御F.S.(N2) | 50 mL/min[s] ～ 40 L/min[s] |
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| レスポンスタイム | ＜300 msec |
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| セトリングタイム | ＜750 msec(Typical＜500 msec) |
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| 外形寸法 | 76.2×25.4×101.4 mm |
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