微少流量(液体)

超微少流量 コリオリ式マスフローコントローラ/メータ

QUANTIMシリーズ コリオリ式 高精度マスフローコントローラ/メータ

Quantimコリオリ式マスフローコントローラは、従来コリオリ式では極めて困難とされてきた微少流量の液体・気体の高精度計測制御を可能としました。

温度、圧力、粘度、密度、熱電率、比熱といったプロセス変数が左右する多種多様な条件下における流体の正確な制御を求められるお客様に、ブルックスの QUANTIMコリオリ式マスフローコントローラは、高精度な計測と制御を可能とする液体流量計をご提供いたします。

　

特徴

QUANTIM コリオリ式マスフローコントローラの主な特徴をご紹介いたします。

• 従来では極めて困難とされていた極小流量の直接質量流量計測、制御を可能な液体流量計です。
• 気体・液体計測分野において比類ない高精度とゼロ安定性を提供します。
• コンパクトな筐体ながら複数の変量（質量流量、体積流量、流体密度、温度）が計測可能な液体流量計です。
• コリオリ式流量センサ、トランスミッタ、コントロールバルブ、制御基盤がコンパクトにパッケージングされているため、簡便な設置、設置スペースの効率化、導入コスト、メンテナンスコストを低減します。
• 内部に可動部がないため、メンテナンスの必要性を最小限に抑えます。
• 従来のサーマル式マスフローコントローラと異なり、測定流体を加熱しないため低沸点の液体も制御可能な液体流量計です。
• 脈動が無く、流体の組成が変化しても正確な質量流量の計測が可能です。
• 密度の電気信号出力が可能、そして高圧30MPaもオプションでご提供可能です。

主な用途

QUANTIM コリオリ式マスフローコントローラは、微少流量の気体・液体を正確に計測、制御を必要とする幅広い産業分野のお客様にご愛顧いただいております。

• 化学触媒の研究（例：石油化学の触媒研究、精製脱硫触媒研究）
• 精密コーティング（例：工具表面処理膜、香料注入）
• 化学物質の注入/添加システム（例：天然ガスやプロパンガスの着臭、ガスへの加湿、燃料添加剤、燃料電池）
• 基準器として（例：流量校正室、燃料電池、分析装置、油圧機械）
• 定量ポンプの制御（例：化学物質の研究、パイロットプラント、製造プロセス）
• 高圧ガス（超臨界二酸化炭素、エチレンのような超臨界炭化水素）
• 真空薄膜コーティング（半導体のCVD/ALDコーティング、金属超硬コーティング、ダイアモンド状コーティング）
• その他、石油、石油化学プラントの実証プラント、パイロットプラント、研究開発施設等でもご利用いただいております。

仕様

		コントローラ	メータ
流量	液体	最大F.S. 14 kg/h 最小F.S.0.01 kg/h	最大F.S. 27kg/h 最小F.S.0.01kg/h
	気体	公称体積流量　 1.0L/min[S] ～ 27 L/min[S]	公称体積流量　 1.3L/min[S] ～ 47 L/min[S]
精度		±0.2%Rate or ±0.5%Rate 又は±{(ゼロ安定性／指示値）×100}%Rate
繰返し性		±0.05%Rate、または±{(ゼロ安定性／指示値）×100}%Rate
周囲温度範囲		0～65℃
外部リークレート		1×10-10Pa・m3/s(He)以下
I/O		0-5VDC または、4-20mA

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