サーマル式マスフローコントローラ/メーター

サーマル式マスフローコントローラ/メータとは

サーマル式マスフローコントローラ/メータが世の中に誕生して凡そ３５年を経過します。今日においては、その利便性から質量流量計測・制御を必要とする産業分野で広く指示され、大きな役割を担っております。このサーマル式（熱式）マスフロー技術は、実際の質量流量を導き出すために、熱力学原理を用います。

この熱力学原理を応用したサーマル式のセンサを搭載し、質量流量計測を可能とした物をマスフローメータと呼びます。また、質量流量制御のためのマスフローメータにコントロールバルブによるフィードバック制御を付加した物をマスフローコントローラと呼び、製品機器として一般的に普及しております。Brooksのサーマル式マスフローコントローラ/メータは、流量別、機能別、使用環境別、様々なアプリケーションに対応した製品群を取り揃えており、幅広いニーズにお答えいたします。

汎用(一般工業向け)

エラストマシールを採用し、コストを抑えるためにシーリーズ中の共有部品多く持ち、汎用性の高い普及型のマスフローです。

また、小流量から大流量まの豊富な機種で幅広い産業用途に対応いたします。

メタルシール(半導体向け)

半導体業界を中心とした真空機器分野で、高い気密性を保持し、安全と信頼性確保に貢献いたします。

また、アナログインターフェイス、デジタルインターフェイスの機種も豊富に取り揃えております。

電流制御(プラント・計装向け)

計装業界では、一般的な4-20mA or 0-20mAの電流I/Oを持ち、所要電源電圧 15～24Vdc仕様のシリーズです。 I/O 0-5Vdcも選択可能です。

防水・防塵・耐候型

屋外使用に対応したシリーズです。小流量から大流量、アナログインターフェイス、デジタルインターフェイス機種を豊富に取り揃えております。

NEMA 4X/ IP65適合品です。

サーマル式の原理

サーマル式マスフローメーター

肉簿のフローチューブ外面の二箇所に感温抵抗線を巻き、この中間に加熱専用ヒータ線を設け、一定電流を流して加熱しておきます。この状態で両抵抗線は同一温度となりますが、フローチューブ内に流れがあると、熱の移動により上流側は下流側に比べて温度が低下します。ここで生じる温度差、即ち熱の移動量は、フローチューブ内の流体の熱容量と流量によるものです。気体の熱容量はその温度や圧力に殆ど依存しないので、この温度差を感温抵抗線の抵抗変化として検出し、質量・流量を測定します。フローチューブは、細管のため微少流量しか流れませんので、バイパス部を設けて分流することにより、幅広く種々な流量レンジに対応することができます。

サーマル式マスフローコントローラ

流量制御に必要な三つの要素(流量センサ、コントロールバルブ、比較制御回路)を図のように組み合わせ、これに外部より流量設定信号を与えます。すると比較制御回路は、その値と流量センサからの信号を比較しながら、常にこの両者が等しくなるようにコントロールバルブの開度を制御します。