サーマル式マスフローコントローラ/メーター
汎用(一般工業向け)
汎用(一般工業向け)のサーマル式マスフローコントローラは、エラストマシールの最も一般的なコストパフォーマンスに優れた製品です。
標準タイプ Eシリーズ 5850E / 51E / 53E
Eシリーズは、コストパフォーマンスを追及したBrooksのスタンダードモデルです。
DeviceNetタイプ SLAシリーズ SLA5850 / 51 / 53
SLAシリーズは、DeviceNetプロトコルに対応したタイプで、アナログとデジタルの両方のインターフェースを持っています。
Profibusタイプ Sシリーズ 5850S / 51S / 53S
Sシリーズは、PROFIBUS-DPプロトコルに対応したタイプで、アナログとデジタルの両方のインターフェースを持っています。