汎用(一般工業向け)
Profibusタイプ
Sシリーズ 5850S / 51S / 53S
アナログとデジタル双方のコミュニケーションが可能なマスフローコントローラ/メータです。PROFIBUS-DPプロトコル対応です。6256Sシリーズの汎用タイプのガス流量計です。
特徴
- コンパクト設計ながら流量は広範囲の3mL/min～2,500L/min（N2ガス換算）に対応
- 高精度、繰返し性と温度影響を受けにくい特徴が 安定した流量コントロールを提供します
- 様々なプロセス条件下においても高速応答、安定した流量制御を保てるようコントロールアルゴリズムに適応しています。
- ゼロ点及び流量の長期安定性を確保
- PID、I/O、及び警報の設定が可能
- シール材はエラストマ、メタルシール、ＵＨＰが選択可能
- Industrial Downport (ISA 76.00.02)
- Profibus-DP通信、アナログ通信の両方のインターフェイスに対応
- 自己診断機能によりオペレーションの継続的な監視を不要にしました
- 様々な一般工業分野においての使用実績
- ATEXゾーンⅡ (KEMA 03ATEX1433 X)認証
主な用途
5850Sシリーズは、汎用性の高いアナログインターファイスとPROFIBUS-DPプロトコルに対応した デジタルのインターファイスをラインアップしており、幅広い産業分野において、その利便性を発揮します。汎用ガスラインに最適です。
- 半導体ウェハプロセス（高速エッチング装置、CVD装置、拡散装置等）
- LCD製造プロセス
- 光ファイバープロセス
- 燃料電池評価プロセス
仕様
5850S |
5851S |
5853S |
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| 流量 | 3 mL/mn[n] ～ 30 L/min[n] |
20 ～ 100 Lmin[n] |
100 ～ 2,500 L/min[n] |
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| コントロールレンジ | 50 : 1 |
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| 精度 | ±0.7%R.D. ±0.2%F.S. |
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| 繰返し性 | ±0.25% |
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| セトリングタイム | < 1sec |
< 3sec |
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| 外部リークレート | 1×10-10Pa・m3/s(He)以下 |
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| 設定入力信号 | [A] 0-20mA or 4-20mA / 0-5 Vdc [S] RS232C or RS485 or PROFIBUS-DP |
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| 出力信号 | [A] 0-20mA or 4-20mA / 0-5 Vdc [S] RS232C or RS485 or PROFIBUS-DP |
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| 所要電源電圧 | 15～24Vdc |
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| 周囲温度範囲(℃) | 0～70 |
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