汎用(一般工業向け)
DeviceNetタイプ
SLAシリーズ SLA5850 / 51 / 53
アナログとデジタルの両方のインターフェースを持ち、最大1000 l/minまでの流量制御、計測が可能なマスフローコントローラ/メータです。
DeviceNetプロトコルに対応しています。Delta class SLA6950/51シリーズの汎用タイプです。
特徴
- 流量は広範囲の3scm～2500L/min（N2ガス換算）に対応
- 精度は±1% R.D. (20～100%F.S.)、±0.2% F.S. (20% F.S.未満）
- 工業用流量計として卓越した安定性。年0.2％以下の長期のドリフト性能
- 10種ガス校正カーブを記憶することが可能
- エラストマーシールは、漏れの少ないANSI/ISA SP-76規格適合品を採用
- セトリングタイムは1秒以内
- ソフトスタート機能
- バルブ制御アルゴリズムメモリーにより、予想外の圧力変動にも流量が影響されません
- ５Ｖの基準電圧出力信号機能
- ＴＴＬ（オープンコレクター）警報出力信号
- デジタルコミュニケーションオプション（Device Net, ODVA, FOUNDATION, Fieldbus, H1)
- マルチドロップ接続のRS-485ベースのHART
主な用途
BrooksモデルSLA5850シリーズは、汎用性の高いアナログインターファイスとDeviceNetプロトコルに対応した デジタルのインターファイスをラインアップしており、幅広い産業分野において、その利便性を発揮します。汎用ガスラインに最適です。
- 半導体ウェハプロセス（高速エッチング装置、CVD装置、拡散装置等）
- LCD製造プロセス
- 光ファイバープロセス
- 燃料電池評価プロセス
仕様
SLA5850 |
SLA5851 |
SLA5853 |
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| 流量 | 3 mL/min[s] ～ 30 L/min[s] (N2ガス換算) |
20 ～100 L/min[s] (N2ガス換算) |
100 ～ 2,500 L/min[s] (N2ガス換算) |
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| コントロールレンジ | 50 : 1 |
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| 精度 | ±1%R.D.(20～100%F.S.) ±20%F.S.(20%F.S.未満) |
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| 繰返し性 | ±0.2% |
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| セトリングタイム | < 1sec |
< 3sec |
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| 外部リークレート | 1×10-10Pa・m3/s(He)以下 |
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| I/O | 0～5Vdc / Device Net |
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| 所要電源電圧 | 15 Vdc / 11～25 Vdc |
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| 周囲温度範囲(℃) | 0～65 |
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