サーマル式マスフローコントローラ/メーター
メタルシール(半導体向け)
メタルシール(半導体向け)のサーマル式マスフローコントローラは、汎用タイプと比較して、機密性が高く、半導体業界など、高圧ガスを扱う用途に多く使用されます。
標準タイプ EMシリーズ 5850EM / 51EM
メタルシールマスフローコントローラ、ＥＭシリーズは 半導体ウェハプロセスなどの高精度を要求されるガスフローの制御に使用されています。モデル5850ＥＭ/5851ＥＭは、すべての外部シールにメタルＯリングを使用し、高清浄度あるいは真空仕様においての低リークを保証しています。
高機能タイプ 5964シリーズ 5964 / 5965
5964シリーズは、標準タイプEMシリーズの上位機種です。筺体のステンレスにはVAR SUS 316Lを採用し、接ガス部は精密研磨を施しをRa0.3μmを実現しました。
また、セトリングタイム１秒以内（SEMI E17-91）の高速応答性を誇ります。
DeviceNetタイプ(標準) SLAシリーズ 6850 / 51
Device-Netプロトコル対応で、配線の省配線化、耐ノイズ性、情報システムとの接続性に寄与し設置コスト・メンテナンスコストが大幅に削減可能なメタルシールタイプのスタンダード型マスフローコントローラです。
電解研磨などを省き、コストを抑えた普及型のモデルです。気密性に優れ、高速応答 Settling Time 500ms以下 ±2% 0-100% F.S. (SEMI E17-91)を誇ります。
※アナログI/O 0-5Vdc D-sub15pin モデルもラインナップしております。
DeviceNetタイプ(高機能) SLAシリーズ 6950 / 51
Device-Netプロトコル対応で、配線の省配線化、耐ノイズ性、情報システムとの接続性に寄与し設置コスト・メンテナンスコストが大幅に削減可能なメタルシールタイプの高機能マスフローコントローラです。
接ガス部には、電解研磨を施し表面粗度 5 Raに仕上げております。気密性に優れ、高速応答 Settling Time 500ms以下 ±2% 0-100% F.S. (SEMI E17-91)を誇ります。
※アナログI/O 0-5Vdc D-sub15pin モデルもラインナップしております。
DeviceNetタイプ(小型) SLAシリーズ 7950
Device-Netプロトコル対応で、配線の省配線化、耐ノイズ性、情報システムとの接続性に寄与し設置コスト・メンテナンスコストが大幅に削減可能なメタルシールタイプの小型マスフローコントローラです。
Brooks独自のコープレーナバルブを備えた卓越した制御を誇る高性能タイプです。IGS 1.125に対応したDownportタイプもご提供しております。
※アナログI/O 0-5Vdc D-sub 9pin モデルもラインナップしております。