メタルシール(半導体)
DeviceNetタイプ(小型)
SLAシリーズ 7950
BrooksのSLA7900, SLA7800シリーズマスフローコントローラは、1.125インチのボディにメタルシールマスフローです。Brooksのこれまでのマスフローコントローラの技術を駆使して実現した、比類なきハイパフォーマンスなガス流量制御。すべての外部シールにメタルシールを使用し、高清浄度あるいは真空仕様においての低リークを保証し、クリーンかつ長期の安定した動作をご提供いたします。
特徴
- 1.125インチのコンパクトボディ
- 高精度コープレーナバルブ搭載
- 内面およびあらゆる面を精密研磨しSLA7900シリーズは5Ra、SLA7800シリーズは32Raを実現。
- オールメタルシール、リークインテグリティ 1×10-11Pa・m3/s(He)以下を保証
- 工業用流量計として卓越した安定性。年0.2%以下の長期のドリフト性能
- 精度 ±1% rate
- デジタル通信によるオプション機能は、装置内のケーブル配線作業の容易化を可能
- 10種ガス校正カーブを記憶することが可能
- すべてのセットポイントにおいて、高速セトリングが可能
- 傾斜影響を受けにくく、マスフローの取り付け姿勢は自由
- 電解研磨（SLA7950）
主な用途
SLA7950シリーズは、半導体ウェハプロセス用に開発されたメタルシールの小型デジタルマフローコントローラです。半導体製造装置における ガスボックスの小スペース化、デットボリュームの低減による応答性の向上に貢献いたします。IGS規格の集積タイプもラインナップしております。
- 半導体ウェハプロセス（高速エッチング装置、CVD装置、拡散装置等）
- LCD製造プロセス
仕様
SLA7900 |
SLA7800 |
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| 流量 | 3 mL/min[s]～50 L/min[s]
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| コントロールレンジ | 1～50 L/minまで 100 : 1、1 L/min以下 50 : 1 |
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| 精度 | ±1.0% F.S以内±1.0%Rate（20%-100% F.S)、 直線性含む ±0.2% (20%F.S.以下) |
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| 繰返し性 | ±0.20% |
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| セトリングタイム | ＜1sec |
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| 外部リークレート | 1×10-10Pa・m3/s(He)以下 1×10-11Pa・m3/s(He)以下 |
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| I/O | 0-5Vdc or 4-20mA0～5Vdc / Device Net |
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| 所要電源電圧 | 15Vdc / 11～25Vdc |
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| 温度影響 | 22～28Vdcゼロ： 0.035% F.S.以下/℃ スパン： 0.1% F.S.以下/℃ |
ゼロ： 0.075% F.S.以下/℃ スパン： ±1% F.S.以下/10～50℃ |
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| 周囲温度範囲(℃) | 0～65 |
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