サーマル式マスフローコントローラ/メータ
防水・防塵・耐候型
Mfsシリーズ Mf50S / Mf51S / Mf53S
Brooks MF-Sシリーズは、高精度で大流量制御（最大2,500 L/min）、大流量測定（最大36,000 L/min = 2,160 Nm3/h) のマスフローコントローラ及びメータです。 防水、防塵規格NEMA4X/IP65適合の耐候型の製品です。更にデジタルインターフェイス選択しよう、複数校正データの内蔵や専用ソフトウエア・スマートサービスツールの各種ファンクションを利用することができます。
特徴
- 高精度
- アダプティングコントロール（最適化学習）機能搭載。
- 高速の出力信号および流量レスポンス
- インターフェイスは、アナログとデジタル選択可
- 継続した自己診断機能付き
- ゾーン2エリア認証
- KEMA 98ATEX4887認証
- 確実な再現性
- 様々な環境下でもその性能を十分に発揮
- 簡単取り付け
- ノズル洗浄可
- 長期安定性でメンテナンス費用削減に貢献
- 安全性をを向上
主な用途
Mf-Sシリーズは、屋外設置に適したした耐候型マフローコントローラ/メータです。 プラントでの過酷な環境下で真価を発揮いたします。
- 石油・化学プラント設備
- 電力関連設備
- 鉄鋼・金属関連設備
- バイオ関連
- 食品・飲料
- 工業炉関連
仕様
コントローラ |
メータ |
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| 流量 | 3 mL/min[n]～ 2,500 L/min[n] |
3 mL/min[n] ～ 2,160 m3/h[n] |
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| 精度 | ±0.7% of rate ±0.2% F.S.(校正時) ±0.5% of rate ±0.1% F.S.(オプション： 最大流量100 L/min[n]まで） ±1% F.S. （流量1,100 L/min[n]以上） |
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| 繰返し性 | ±0.25% of rate |
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| 周囲温度範囲 | 0～70 |
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| 外部リークレート | 1×10-10Pa・m3/s(He)以下 |
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| Analog I/O | 0～5Vdc or 1～5Vdc 又は 0-20mA or 4-20mA (max loop resistance 375Ω) |
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| Digital I/O | RS-232 or RS-485 |
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