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オートプレッシャコントローラ/メーター
オートプレッシャコントローラ/メーター 5866Eシリーズ
Brooksモデル5866（プレッシャコントローラ）は、プロセス圧力の精密な制御を目的にマスフローコントローラと同様の概念で設計されたものです。圧力センサー、コントロールバルブ、PI制御機能がコンパクトに一体化されております。配管接続寸法はマスフローコントローラ5850Eと同一で、配線接続もD-subコネクタを持ったBrooksマスフローコントローラと同じですので同一プロセスへの組み込みが容易です。
特徴
- 圧力センサー・コントロールバルブとエレクトロニクスが、コンパクトなユニットに一体化。
- 高精度及びリニアリティを保証
- 上流圧及び下流圧の制御
- ノーマルクローズバルブ仕様（ノーマルオープンバルブ仕様オプション）
- 使用圧力はMAX 10Mpa[a]まで可
- 入力信号は、電圧、電流可
- 外部センサー信号入力可
- バルブオーバーライド機能内蔵
主な用途
Brooks 5866Eシリーズは、圧力センサを内蔵したオートプレッシャコントローラ(APC)です。半導体産業、一般工業にも幅広い用途に適応しております。メタリシールタイプの5866Mや外部圧力信号からの入力で制御を行なう5866RTもご提供しております。
- 容器圧力制御
- リアクタ（反応炉）の圧力制御
- マスフローコントローラへの供給圧力制御
仕様
5866Eシリーズ |
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| 圧力範囲 | F.S.50Kpa[a]～10Mpa[a] | |
| 流量範囲 | 0～1 mL/min[s]から、0～30 L/min[s] (N2ガス換算、使用圧力による） | |
| コントロールレンジ | 1:20 | |
| 精度 | ±0.5% F.S.以内（直線性を含む） | |
| 繰返し性 | ±0.1% F.S. 以内 | |
| リークレート | 1×10-10 Pam3/S | |
| 使用温度 | 10～50℃（気体及び周囲温度） | |
| 温度影響 | 0.1% F.S. /℃ | |
| コントロールオフセット | 0.2% F.S.（電圧入出力） 1.5% F.S.（電流入出力） | |
| 比例帯 | 0.5～100% | |
| 積分時間 | 0.05～5秒 | |
| コマンド入力信号 | 0～5Vdc （入力抵抗1MΩ) | |
| 出力信号 | 0～5Vdc （負荷抵抗2MΩ) | |
| 所要電源 | +15Vdc(±5%) 25mA -15Vdc(±5%) 180mA | |